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硅烷，即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称。硅烷气作为一种载运硅组分的气体源，因其纯度高和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特殊气体。本文将详细介绍硅烷气的定义、分类、制备方法、制备所需的原材料、应用领域、市场规模以及竞争格局。
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